南京航空航天大学科技部所需多功能镀膜仪项目进行招标，欢迎具有相应资质及供货能力的制造厂商、代理商或经销商报名投标。

     一、项目名称及数量

     多功能镀膜仪      1套

     二、项目主要技术要求

     1.真空系统

     1.1、最优真空度≤7×10-3mbar，Pirani真空计检测

     1.2、进口真空泵，二级真空旋转泵：抽速5mm3/h，带金属连接管，带有油雾过滤器

     2. 镀膜方法与功能参数

     ★2.1具备离子溅射法镀金功能，可选方向性或弥散性功能，带有靶材：金靶1块

     2.2 工作气体：高纯氩气

     2.3、溅射电流：0-150mA可调

     2.4、溅射时间：1-999s可调

     ★2.5、带有预溅射功能，金属靶带有挡板保护, 自动开启与关闭

     2.6、靶材直径：54mm，厚度最大兼容1mm

     ★2.7、带有氩气灌洗功能，以去除管路中残留气体，保证样品室内无污染

     3、样品室与样品台

     ★3.1、样品台直径：80mm，带18孔，可插入18个SEM标准样品台

     ★3.2、工作距离调节范围：30-100mm

     3.3、带玻璃单仓门，超大面积观察窗

     ★3.4、方形金属样品仓，样品仓内部尺寸：宽140mm，深145mm，高150mm

     4、控制系统：

     4.1、内置式彩色触摸屏控制

     4.2、全自动程序化控制，仪器自动抽真空，切换挡板，镀膜至指定时长并放气，无需手动操作

     5. 系统维护与清洁

     5.1 、样品室舱门、样品室内壁金属保护罩、镀膜挡板、靶材、样品台都可简易拆卸，清洁。

     6、具体技术参数及其他要求：详见招标文件。

     三、投标人资格要求

     1．投标人应熟知本招标货物的制造及验收标准。

     2．投标人必须遵守国家法律、行政法规，具有良好的信誉、商业道德，资金和财务状况良好。

     3．投标货物在市场有良好的销售和使用业绩。

     4．投标人为有能力提供货物及其服务的合法生产商或有原厂授权的合法销售代理商。

     5．本项目不接受联合体投标。

     四、报名时间、地点及联系电话

     1、报名时间：自2014年11月19日至2014年11月25日止，工作日上午8：30-12：00；下午2：00-5：00。

     2、报名地点：南京航空航天大学明故宫校区（南京市御道街29号）行政楼612室

     3、联系电话：025-84891868       姚老师

                                             南京航空航天大学采招办

                                                2014年11月19日